会议预告
【2018年8月16日 集成所】Recent Developments of Inline Metrology and Inspection Tools for Semiconductor Manufacturing
各位同事,同学:
大家好!
集成所第379期集成科学与技术系列学术讲座将于8月16日(周四)上午10:00~11:00在F栋6楼会议室召开。本次讲座特邀SunOptical Systems LLC的Gang Sun博士作题为“Recent Developments of Inline Metrology and Inspection Tools for Semiconductor Manufacturing”的学术报告。
会议由光电工程中心的李剑平副研究员主持,诚挚邀请大家准时参加、学习和交流!
讲座具体信息如下: