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可连接惰性气体保护及水氧控制的真空蒸镀设备委托开发合同

时间:2021-09-02  来源: 文本大小:【 |  | 】  【打印

     中国科学院深圳先进技术研究院(甲方)、沈阳亚润丰科技有限公司(乙方)双方经友好协商,达成项目合作,甲方向乙方委托“可连接惰性气体保护及水氧控制的真空蒸镀设备”的技术开发,乙方需按照甲方要求定制一套真空制膜及水氧控制设备,包含真空镀膜模块、惰性气体保护外箱、水氧检测模块等,可以很好的完成真空制备薄膜,并精确控制机体的水氧含量,用于新材料薄膜的气态、液态制备加工实验。